扩散泵故障排除,扩散泵故障排除方法

摘要： 大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于扩散泵故障排除的问题，于是小编就整理了3个相关介绍扩散泵故障排除的解答，让我们一起看看吧。扩散泵返油的原因？扩散泵抽气慢什么原因...

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于扩散泵故障排除的问题，于是小编就整理了3个相关介绍扩散泵故障排除的解答，让我们一起看看吧。

1. 扩散泵返油的原因？
2. 扩散泵抽气慢什么原因？
3. 扩散泵一直加热会怎么样？

扩散泵返油的原因？

如果说扩散泵反油的话，产品掉膜都会很严重，做其它产品都会掉膜，一定是工艺问题！

扩散泵返油特征比较明显，容易判断：

一是观察该黑点特征，一般为圆形，大小不一，基本在产品正面，擦拭即掉；

二是观察该黑点分布特征，一般在高阀进气口附近同一高度分布，如果产品离出口比较远时也可能会广些，背面基本不会有；

三是出现返油时，产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。

建议两点：

一是检查扩散泵前级压力，在抽气时是否过高（不应高于10帕），如偏高须检查前级机组性能；

二是检查扩散泵泵体温度，在中部及以上应当是凉的，如果暖甚至热时，需要检查冷却水的效果，下调温控系统温度或增加温控系统。

扩散泵抽气慢什么原因？

扩散泵抽气慢的原因可能有以下几种：
1. 油质不符合要求：扩散泵使用的油必须是纯净的，否则会影响抽真空速度。如果使用的是污染的油，它会在抽真空过程中产生大量的沉淀物，导致泵的运行不流畅，从而降低了抽气效率。
2. 泵的结构不合理：如果扩散泵的结构设计不合理，也会导致抽气速度变慢。例如，如果扩散泵的进气口或出口过小，会导致气体在泵内积聚，使得真空度下降。
3. 系统有微漏：如果系统存在微漏，那么扩散泵的抽气速度也会变慢。此时，需要仔细检查系统，找出漏气的位置并加以修复。
4. 箱体太脏：如果箱体太脏，会导致放气量增大，从而影响了扩散泵的抽气速度。因此，需要定期清洗箱体，保持其清洁。
5. 前级不行：如果前级的机械泵或机械泵加罗茨泵的真空度不够，那么扩散泵的抽气速度也会变慢。此时，需要检查前级的性能，如果需要的话，可以更换新的前级泵。
6. 扩散泵不给力：如果用电离规单接到扩散泵泵口，扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限。如果扩散泵不给力，也会导致抽气速度变慢。此时，需要检查扩散泵的性能，如果需要的话，可以更换新的扩散泵。
7. 管道设计不合理：如果管道设计不合理，例如管道弯曲过多或管道长度过长等，都会影响扩散泵的抽气速度。因此，在设计和安装管道时，需要考虑到这些因素，以优化扩散泵的性能。
8. 泵的安装环境不当：如果扩散泵安装在一个不适当的环境中，例如温度过高或过低，或者存在大量的灰尘和颗粒物等，都会影响扩散泵的抽气速度。因此，在安装扩散泵时，需要考虑到环境因素，以保持其正常运行。
9. 电源或控制系统问题：如果电源或控制系统出现问题，例如电源电压不稳定或控制系统故障等，都会导致扩散泵的抽气速度变慢。因此，需要定期检查和维护电源和控制系统，以确保其正常运行。
综上所述，扩散泵抽气慢的原因有很多种，包括油质、泵的结构、系统微漏、箱体太脏、前级不行、扩散泵不给力、管道设计不合理、安装环境不当以及电源或控制系统问题等。为了解决这个问题，需要仔细检查并排除可能的原因，以优化扩散泵的性能。

扩散泵一直加热会怎么样？

扩散泵一直加热会导致其过度加热，进而引发损坏或爆炸的风险。扩散泵在工作时本身会产生大量热量，如果一直加热会使其自身温度升高，而过度的温度会使得扩散泵内部的密封结构受损，甚至使得泵体变形，从而导致泵内的压力失控，爆炸的风险增加。

因此，为避免这种情况的发生，必须要控制扩散泵的加热时间和温度，并且经常检查和维护设备，保证其正常运转。

到此，以上就是小编对于扩散泵故障排除的问题就介绍到这了，希望介绍关于扩散泵故障排除的3点解答对大家有用。